产品描述
产品特点：
• 检测同时支持线宽测量及套刻测量三合一。
• 表面缺陷检测能力可达0.3um。
• 自动检测无需人工,单机缺陷检测模式。
• 灵活高效多种方式的缺陷和自动缺陷分类。
• 单层图形和多层图形检测,及自定义区域检测。
• 高精度线宽量及套刻尺寸测量系统。
• 自动脚本编程能力和自动化运行。
• 自带自动检测料盒功能,自带 Mapping功能,可双面检测。
• 晶圆机械手完成设备内的晶圆片运转;JEL/澳门威斯尼斯app官方网站自主机械手。
产品应用领域：
全自动晶圆外观检查机主要是适用于晶圆外观缺陷的检测设备，以提高客户生产效率;适用于4inch，6inch，8inch晶圆。
产品参数
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激光类型配置 |
设备型号SL-WOV1020 |
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适用晶圆 |
4寸.6寸.8寸 |
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线扫相机+激光测量仪 |
16K线扫相机+激光测量仪：幅宽6mm扫描间隔lum-10um; |
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相机镜头 |
镜头WD:49mm FOV:360mm图像分辨率：2lum |
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线扫同轴光源 |
发光区域340mm*40mm |
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线扫线光源 |
组合光源；线光源2组；发光区域340mm*20mm |
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检测类型 |
外观不良；尺寸、厚度测量 |
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产品上下料方式 |
Open cassette; |
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产品传送方式 |
日本JEL晶圆ROBOT+Mapping功能 |
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晶圆载台 |
X.Y.Z.R载台：形成6.5mm;粗调360°、微调±5°、最小行程5um |
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晶圆平移模组 |
行程350mm'重复精度±20um |
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软件 |
澳门威斯尼斯app官方网站专用晶圆外观检查软件系统； |
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OCR读取 |
视觉识别(可选配) |
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FFU |
双FFU;99.995%@0.3um;400-500cmh |
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系统对接 |
MES与EAP(具备TCP/IP;支持SECS-GEM通讯标准) |
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设备尺寸 |
L:1700mm*W:1350mm*H:1900mm |
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