产品描述
产品特点：
• 检测同时支持线宽测量及套刻测量三合一。
• 表面缺陷检测能力可达 0.3um。
• 自动检测无需人工，单机缺陷检测模式。
• 灵活高效多种方式的缺陷和自动缺陷分类。
• 单层图形和多层图形检测，及自定义区域检测。
• 高精度线宽量及套刻尺寸测量系统。
• 自动脚本编程能力和自动化运行。
• 自带自动检测料盒功能，自带 Mapping 功能，可双面检测。
• 晶圆机械手完成设备内的晶圆片运转；JEL/ 澳门威斯尼斯app官方网站自主机械手。
产品应用领域：
全自动晶圆外观检查机主要是适用于晶圆外观缺陷的检测设备，以提高客户生产效率；适用于 4inch，6inch，8inch 晶圆。
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