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碳化硅晶圆ID激光标刻设备

全自动晶圆激光标刻机主要是对各种外延硅晶圆片、先进封装复合晶圆、SIC晶圆进行精密标记;适用于6inch,8inch,12inch晶圆打码

产品描述

产品特点:

• 专业料盒上下料,机械手取料、打标、放料回原位

• 全自动运行,视觉自动寻边定位机构,加工效率高

• 自动检测料盒有无产品,机械手自带Mapping功能,可选择双面打标

• 晶圆机械手完成设备内的晶圆片运转,JEL专用晶圆机械手

• 标配99.995%0.3um过滤的FFU,有效保障机内洁净度

 

产品应用领域:

全自动晶圆激光标刻机主要是对各种外延硅晶圆片、先进封装复合晶圆、SIC晶圆进行精密标记;适用于6inch,8inch,12inch晶圆打码

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