产品描述
产品特点:
•FFC 上下料方式,取料,切割,放料回原位。
• 多相机视觉抓取晶圆边及特征点定位,自动对位,自动寻焦;高精密运动平台。
• 全自动上下料 , 光路稳定可靠 , 高精度视觉系统 , 加工效率高。
• 澳门威斯尼斯app官方网站自主研发软件系统,操作简易,功能齐全。
• 可选焦点:单焦点,双焦点,多焦点(可选)。
产品应用领域:
全自动晶圆激光隐形切割设备主要是适用于各种半导体硅,锗,碳化硅,氧化锌等晶圆材料,隐形切割是将激光聚光于工件内部,在工件内部形成改质层,通过扩展胶膜等方法将工件分割成芯片的切割方法;适用于4inch,6inch,8inch 晶圆。
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