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全自动晶圆激光开槽切割机

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全自动晶圆激光开槽切割机


集成电路晶圆、GPP二极管晶圆、可控硅晶圆的划线切割,40nm及以下线宽的low-k晶圆的表面开槽。适用于8inch、12inch晶圆

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